Die Herstellung der Keramikscheibe gliedert sich in die folgenden Schritte
1. Basismaterial-Matching
2. Basismaterial Schleifen
3. Grundmaterialumformung
4. Grundmaterialtrocknung
5. Basismaterial-Dehydrierung
6. Grundmaterial-Feuerung
7. Basismaterial Schleifen nach Maschine
8. Verschleißfeste Schicht Spraying
9. Verschleißfeste Schicht Trocknung
10. Verschleißfeste Schicht Dehydrierung
11. Verschleißfeste Schicht Feuern
12. Verschleißfeste Schicht Schleifen und Waschen
13. Herstellung von Installationsloch und Auslassloch
14. Montage von Montageringen und Auslässen
15. Schutzfarbe und Außenverpackung
16. Wasser- und Luftdruck prüfen
17. Lagerung und Verpackung
Eigenschaften und Vorteile:
1) Hohe Wärmeleitfähigkeit;
2) Der Expansionskoeffizient kann mit Halbleitersiliziumwafern abgeglichen werden;
3) Hoher Isolationswiderstand und Spannungsbeständigkeit;
4) Niedrige Dielektrizitätskonstante, geringer Dielektrizitätsverlust;
5) Hohe mechanische Festigkeit;
6) Geeignet für Strömungskanalformverfahren;
Typische Marktanwendungen:
1) Wird als Tiegel für zusammengesetzte Halbleiter-Einkristallwachstum verwendet;
2) Substrat für Hochfrequenzsägegeräte;
3) Hochreine Aluminiumnitrid-Film ziel;
4) Fenstermaterialien für Infrarot und Mikrowelle;
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